2023
Control de Temperatura y Proceso del Mandril Semiconductor
Los sensores de temperatura de fibra óptica de alta precisión de OSENSA están diseñados específicamente para satisfacer los exigentes requisitos de las aplicaciones de control de procesos de semiconductores. OSENSA ofrece soluciones OEM personalizadas de respuesta rápida para la detección óptica de temperatura con y sin contacto para aplicaciones de grabado dieléctrico y conductor. Los sensores de fibra óptica se integran en el mandril electrostático en múltiples zonas para proporcionar el máximo control y uniformidad térmica.
Pídanos más información sobre la aplicación de la detección de temperatura para aplicaciones de procesamiento de obleas semiconductoras que requieren un control preciso del proceso en entornos de alta frecuencia y plasma. Para los procesos mejorados de deposición química en fase vapor por plasma (EPCVD), nuestros sensores utilizan geometrías sin contacto en las que el material sensor está integrado en la base del mandril electrostático, pero con la fibra óptica situada a distancia. Este método maximiza la velocidad de respuesta y elimina las pérdidas por conducción del vástago. También simplifica la sustitución y el reacondicionamiento del mandril electrónico, evitando el riesgo de rotura de las sondas de temperatura de fibra óptica.
