¿Está pensando en adquirir una sonda de temperatura personalizada? OSENSA cuenta con más de 15 años de experiencia en el diseño y la fabricación de sondas de temperatura de fibra óptica OEM personalizadas para aplicaciones de grabado y deposición de semiconductores. Póngase en contacto con nuestro equipo para obtener más información.
Control de Temperatura y Procesos de Mandriles Para Semiconductores
Los sensores de temperatura de fibra óptica de alta precisión de OSENSA están diseñados específicamente para satisfacer los exigentes requisitos de las aplicaciones de control de procesos de semiconductores.
OSENSA ofrece soluciones OEM personalizadas de respuesta rápida para la detección óptica de temperatura con y sin contacto para aplicaciones de grabado dieléctrico y conductor. Los sensores de fibra óptica se integran en el mandril electrostático en múltiples zonas para proporcionar el máximo control y uniformidad térmica.
Aplicaciones de Procesamiento de Obleas Semiconductoras
Muchas aplicaciones de procesamiento de obleas semiconductoras dependen de sensores de temperatura de fibra óptica para un control preciso del proceso en entornos de alta frecuencia de radio (RF) y plasma.
En una aplicación de procesamiento típica, se coloca una oblea de silicio sobre un mandril electrostático que se calienta y enfría rápidamente en un entorno de plasma. Los sensores de temperatura de fibra óptica están integrados en la base del mandril electrostático y proporcionan una respuesta rápida y de alta precisión para un control estricto del proceso.
Cada mandril electrostático se divide en varias zonas, lo que requiere múltiples sensores de temperatura de fibra óptica para maximizar la uniformidad de la temperatura en toda la superficie de la oblea. Las aplicaciones de semiconductores que emplean este tipo de disposición suelen ser procesos de grabado dieléctrico y conductor.
Procesos Mejorados de Deposición Química en Fase Vapor por Plasma (EPCVD)
Para los procesos mejorados de deposición química en fase vapor por plasma (EPCVD), se utiliza un reactor de cabezal de ducha para dispersar los gases reactivos en la cámara de proceso mientras se aplica una intensa energía de radiofrecuencia.
Los sensores de temperatura de fibra óptica se emplean para controlar la temperatura del cabezal de ducha, así como para supervisar las temperaturas de las paredes laterales con el fin de minimizar la deposición en las superficies internas de la cámara.
Los sensores de temperatura de fibra óptica de OSENSA se desarrollaron específicamente para dar soporte a una amplia variedad de procesos de semiconductores de vanguardia. Los sensores de fibra óptica de OSENSA están disponibles en geometrías sin contacto, en las que el material sensor está integrado en la base del mandril electrostático, pero con la fibra óptica situada a distancia.
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